刻蚀机NE-550EX

 用于研究开发的高密度等离子蚀刻装置NE-550 EX，以有磁场ICP（ISM＝Inductivery Super Magnetron）方式的高密度等离子蚀刻装置，采用单叶式的标准装备了LL室，实现了紧凑、低价格。