离子注入机 IH-860DSIC

特长

·可以自动连续高温处理注入

·1价离子可注入350keV，2价离子可注入700keV（可选择1价离子可注入430keV，2价离子可支持860keV）

·在双端站实现高吞吐量（A系4“高温ESC/B系3”高温ESC、A系6“高温ESC/B系6”常温ESC等，可根据客户的要求构建规格）

·可以进行链条注入，减轻操作员的负荷

·小型设计

·从试作到量产可以广泛对应